±0.1精度主軸冷卻器在劃片（piàn）機晶（jīng）圓加工工藝中的應用

    隨（suí）著越來越多行業精密加工的需（xū）求，特別是半導體晶元加工方麵，不單單對環境恒溫恒濕及淨化等級方麵的環境（jìng）要（yào）求，同時對加工機器主軸的精確恒溫冷卻更（gèng）是要（yào）求嚴格，隻有保證了機器的精確度才能保證加工出產品的（de）精度。

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