淺述鍾罩窯的各組成部分作（zuò）用

　　鍾罩窯是一種科學技術（shù）材料。窯爐外形如一座高大的鍾。燒成時需將窯體罩在產品（pǐn）上，燒（shāo）成完（wán）畢再將鍾罩吊起來，放在一旁。它特別適用於（yú）燒成（chéng）特大型的絕緣子電瓷產品及大件的藝術陶瓷產品。
　　鍾罩窯所（suǒ）提供的燒結窯爐的主要特性是效率比較高（gāo），其智能控製係統和其他設備構成了一個完整的功能單元，可充分（fèn）滿足鐵氧體行（háng）業（yè）近乎藝術級（jí）的（de）要求。可（kě）以根據需要編寫和儲存任何的溫度/氣氛曲線，來（lái）生產高質量（liàng）的產品。除此（cǐ）以外還可以根據實際需要及時生產（chǎn）任何其他產品，從而縮短交貨期和降（jiàng）低成本。在（zài）燒結時僅僅（jǐn）需要少數操作人員，裝載和（hé）卸載（zǎi）可以在白（bái）天（tiān）完成，而燒結可以在夜間完（wán）成,實現電力調峰，在當今（jīn）電力緊張情況下，十分實用（yòng）。
　　目前設備可用於砷化镓、矽以及（jí）其他半導體材料，離子注入後的退火、矽化物的形成、歐姆接觸製備以及快速氧（yǎng）化、快（kuài）速氮化等方麵。鍾罩窯（yáo）主要由真空腔室、加熱室、進氣係統、真空係統（tǒng）、溫度控製係統、氣冷（lěng）係統、水冷係統等幾部分組成的，下麵來了解下（xià）各組成部分的作用：
　　1、真（zhēn）空腔室：鍾罩窯真空腔室是其工作空間，晶圓在這裏進行快速熱（rè）處理。
　　2、加熱室：加熱（rè）室以多（duō）個紅外燈管為加熱元件，以耐高溫合金為框架、高純（chún）石英為主（zhǔ）體。
　　3、進氣係統：真空腔室尾部有進氣孔，控製（zhì）的進氣量用（yòng）來滿足一些特殊工藝（yì）的氣體（tǐ）需求。
　　4、真空係統：鍾罩（zhào）窯在真空（kōng）泵和真空腔室之間裝有高（gāo）真空電磁閥，可以有效確保腔室真空（kōng）度,同時避免氣體倒灌汙染腔室內的被處理工（gōng）件。
　　5、溫度（dù）控製係統：溫度控製係統（tǒng）由（yóu）溫度傳感器、溫度控製器、電力調整器、可（kě）編程控製器、PC及各種傳感（gǎn）器等組成。
　　6、氣冷係統：鍾罩窯真空腔室的（de）冷卻是通過進氣（qì）係統向腔室內充入惰性氣體，來加速冷卻被（bèi）熱處理的工件（jiàn），滿足工藝使用要求。
　　7、水冷係統：主要包（bāo）括真空腔室、加熱室、各部位密封圈（quān）的冷（lěng）卻用（yòng）水。

　　以上就是（shì）鍾罩窯（yáo）的七大組成部分及作用，到這裏小編的分（fèn）享今（jīn）天就結束了，希望今天分享的內容能夠對（duì）大家有（yǒu）所幫助，若大家還有（yǒu）其他想要了解的問題，歡（huān）迎隨時聯係天美传媒在线進行谘詢。

2023.12.6  ZG