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真空鍍膜有蒸發鍍膜、濺射鍍膜(mó)和(hé)離子鍍膜三種形式:當(dāng)濺射鍍膜用高能粒子轟(hōng)擊固體表麵時,可以獲得固(gù)體表麵的粒子。能量從(cóng)表麵逸出(chū)並沉積在基板上;離子鍍蒸發物質的分子通過電子撞擊被電離,並以離子的形式沉積(jī)在固體表麵。
所有三種形式(shì)的真空鍍膜技(jì)術都需要(yào)快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜過程(chéng)。由於工件在鍍膜過程中(zhōng)處於封閉(bì)的真空環境中,真空設備失去了很多產(chǎn)品技術和性能(néng)。現(xiàn)有(yǒu)的真空鍍膜設備也有冷卻裝置,但其冷卻效果不是很理想。

不能滿(mǎn)足人們的需要(yào),為彌補現有(yǒu)技術的(de)不足,真空鍍膜電源廠家提供一種真空鍍膜設備手套箱蒸發一體機。該係統集成了真(zhēn)空鍍膜係(xì)統和手套箱係統,可在高真空蒸發室中完成薄膜蒸發。樣品(pǐn)在手套箱中的高純度(dù)惰性氣體氣氛下蒸發後儲存(cún)、製備和測試(shì)。為保證塗層(céng)產品工藝和性能質量要求而設置的(de)快速冷卻係統,可實現快速冷卻自動控製的目的。
蒸發鍍膜與手套箱相結合,實現了蒸發(fā)、封裝、測試等過程的全封閉生產,使整個薄膜生長和器件製備(bèi)過程高度集成在一個環境氣氛可控的完整係統中,無需有機大-區域電路準備。大氣環境中不穩定(dìng)因素的影響,保證了高性能、大麵積有機光電器件和電路(lù)的製備。
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