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風冷電源:每月清(qīng)一次風扇 + 散熱片灰塵
粉塵一多,功率管發熱→輸出漂移(yí)→膜厚不均。
水冷電源:
水溫控製 25±5℃
冷卻(què)水用 去離子水 / 純淨(jìng)水,別用自來水
每 3 個月清(qīng)洗過濾器,半年換一次水
→ 效果:輸出穩定度直接提升,功率不衰減。
每月檢查:
高壓接頭、輸出端子、接地螺絲
有(yǒu)發黑、燒痕、氧化必須打磨或更換
高壓線不彎折、不(bú)擠(jǐ)壓、不貼近熱源
→ 效果:打火(huǒ)率下降 30%~70%,鍍膜更(gèng)均勻。
每 6 個月 斷電、充分放電後開蓋:
用幹燥壓縮空氣吹電路板、電容、IGBT、變壓器
禁止用濕布、禁止帶電解(jiě)禁
→ 效果:絕緣提升、誤報警減(jiǎn)少、控製更精準。
鼓包、漏液、頂(dǐng)部凸起 → 立即換
使用超過(guò) 2~3 年 的電(diàn)源,建議重點檢(jiǎn)查
電容劣化直接(jiē)導致:
紋波(bō)變大、輸出跳動、打火增多(duō)、膜層發花。
每季度檢查:
滅弧響應速度
弧能量抑製(zhì)是否正常
頻繁打火時不要硬扛,要(yào):
清潔真空室
檢(jiǎn)查靶材、絕緣件
回(huí)檢電源(yuán)滅弧參數
→ 效果:膜層缺陷大幅減少,良品率上升。
每半年校準一次:
輸出電壓
輸(shū)出電(diàn)流
功率
脈衝頻(pín)率 / 脈寬(脈衝(chōng) / 偏壓電源(yuán))
不準的電源 → 膜厚不準、重複性差。
濕度:40%~60%,不凝露
無塵、無腐蝕性氣(qì)體、無金屬(shǔ)粉塵
電(diàn)源(yuán)周圍留 ≥10cm 通風空間
如果你告訴我:
你的電源是直(zhí)流 / 中頻 / 脈衝偏壓 / RF/HIPIMS 哪種?功率多大?用在(zài)光學膜還是工具鍍?我(wǒ)可以直接給你一份專(zhuān)屬你(nǐ)的電源的維護周期
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