江蘇（sū）MSD係列小功（gōng）率直流（liú）磁控濺射電源

所屬分類：江蘇（sū）MSD係列直流磁控濺射電源
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發布日期：2020-10-21 09:42:58

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產品概述
性能特（tè）點
技術參數（shù）

主要型（xíng）號（hào）：

型號	功率(kW)	工作電流(A)	外形尺寸	冷卻（què）方式（shì）	空載電壓(V)	工作電壓（yā） (V)
MSD-500W	0.5kW	1.0	482132440 (WHD)[3U]	風冷	750	100~500V
MSD-1000W	1kW	2.0
MSD-2000W	2kW	4.0
MSD-5kW	5kW	8.0	482175550 (WHD)[4U]	風冷	1000	150~800V

主要特點：
A 采用先進的電流型開關（guān）電源技術，減小輸出儲能（néng）元件，
同時提高了抑製（zhì）打（dǎ）火及重（chóng）啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對於傳統的恒流模式，
更能保證（zhèng）鍍膜工藝的重複性。
C 具有理想的（de）電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足（zú）磁（cí）控濺射工藝過程的連續性。
D 可選擇（zé）手動控製/模擬（nǐ）量接口控製，可選配RS485通訊接口。
E 專門為試（shì）驗型真空設備（bèi）定製，相對生產（chǎn）型設備（bèi）的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本（běn）
采用先（xiān）進的PWM脈寬調製技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠（kào），生產工（gōng）藝嚴格完善。
該係（xì）列產品采用先進的DSP控製係統，充（chōng）分保證鍍膜工藝的重複性，
並且具有抑製（zhì）靶材弧光放電及抗短路功（gōng）能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證（zhèng）了靶（bǎ）麵清洗工藝的穩定性，又提高了靶麵清洗速度；
主要參數均可大範圍連續調節（jiē）；
方便維護（hù），可靠性高；
PLC接口和（hé）RS485接口擴展功能，方便實現自動化控製。

主要用途：

直流磁控濺射用於鍍製各種（zhǒng）金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在（zài）實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現（xiàn）過不少故障，其中高壓電源部分的故（gù）障較多（duō），也比較複（fù）雜，下麵就幾種典（diǎn）型（xíng）的故障（zhàng）進行分析。

真空鍍膜電源

1、增加電子束流時，高壓沒（méi）有指示

真（zhēn）空（kōng）鍍膜（mó）機在正常工作的時候，設備的主開關電路中（zhōng）的開關管處於飽和的導通狀態，當管壓下（xià）降保持在100V左右的時候，柵（shān）極得到正（zhèng）偏壓50V，高壓指（zhǐ）示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控製信號不足以使穩壓管擊（jī）穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由於束斑的（de）位置不在中心，電子（zǐ）束可（kě）能會打到（dào）坩堝的（de）邊緣（yuán），或者束斑的位（wèi）置在中（zhōng）心，但蒸鍍的材料（liào）被打穿等原因，都會出現高壓無指（zhǐ）示。這是（shì）由於高壓輸出被近似短路，造成電子束流大於預定的值，主開關管處於截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由於打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時（shí）取得的過流（liú）信號，使得穩（wěn）壓管被擊穿導（dǎo）通，管（guǎn）壓處於導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常（cháng）的情況下（xià），即使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時（shí）高壓（yā）指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上（shàng）分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現（xiàn）象。為了便於排查，先將高壓電源和負載分開（kāi），如果問題還在，就證明問題不在負載那方麵，而是在高（gāo）壓電源那方麵，高壓電源（yuán）是由高壓部分和自動電源的（de）主開關管進行切斷（duàn）的。當有束流時，高壓指示頻（pín）繁的擺動，就是（shì）高壓出現連續性的過流打火，自動複位部分就開（kāi）始運行，使得（dé）高（gāo）壓電源的主開關管始終（zhōng）處在切斷和導通這兩種狀態（tài），反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的（de）修（xiū）理（lǐ）過程中發（fā）現（xiàn），有時會出現這種故（gù）障並不是由於高壓電源內部的原因，而是真空室內（nèi）有汙染（rǎn），因為設備使用了很多年，鍾罩內壁上聚集了（le）許多蒸鍍的材料。在有（yǒu）束流的（de）情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得（dé）主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消（xiāo）除這種故障，可（kě）先將電（diàn）子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障（zhàng）還沒（méi）有補（bǔ）消除，再（zài）將鍾罩內所（suǒ）有的器件和鍾罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高（gāo）壓指示就不會在頻繁的擺動（dòng）了。